助力實現無磨損晶圓輸送

　　XPlanar 系統是一款集傳統輸送技術諸多優點于一身的平面磁懸浮產品輸送系統，可在半導體設備制造中為在一個工具內以及在幾臺設備之間處理晶圓及其它產品提供了各種全新的選擇：XPlanar 系統的動子/托盤運動是非接觸式的，不會產生機械磨損。

　　針對特定應用布局機器設備

　　XPlanar 系統為用戶根據自己的個性化需求布局機器設備提供了很大的自由度。XPlanar 平面模塊可以自由拼接成任意幾何形狀的傳輸平面，比如矩形、圓形或樹狀結構，幾乎無任何限制。機器設備的布局可以完全根據用戶要求的功能設計，XPlanar 系統的大小可以完全根據用戶的要求調整，幫助用戶避免額外的費用支出，節省寶貴的生產空間。

　　柔性無磨損工件輸送系統

　　動子托盤按照單獨定義的路線輸送每個工件。各個生產步驟可以根據需要相互銜接，使得固定的工位序列成為過去。每個動子托盤的運動相互間可以完全解耦：產品可以相互超車，并且可以在不影響生產流程的情況下從產品流中撤出或進入等候區（例如，用于冷卻）。由于在一個系統中提供了不同尺寸的動子托盤，因此可以同時生產不同規格的產品。XPlanar 系統具有卓越的動態性能和機器人的高精度，是處理不同批量大小和產品規格變化的高效定位系統。動子托盤根據為每個產品單獨定義的復雜 XY 幾何圖形運動。

　　大幅減少清潔和維護工作量

　　XPlanar 系統的一大特點就是它能夠大幅減少清潔和維護工作量。與傳統的輸送系統相比，XPlanar 不需要使用導軌、滑輪或潤滑系統。系統所需的定期維護間隔時間大幅減少，從而可以顯著提高系統的可用性。系統的另外一個優勢是：所有平面模塊和動子托盤表面都非常光滑，沒有死角。為了在特別苛刻的環境中使用，XPlanar 平面模塊的表面可以選擇玻璃、不銹鋼或者塑料材質，方便清潔，無需使用任何清潔劑，也不會影響動子托盤的懸浮性能。

     關于德國倍福

　　倍福（Beckhoff）是一家專注于自動化新技術的德資企業，創立于 1980 年，總部位于德國威爾市。作為全球自動化技術的驅動者，倍福定義了自動化領域的許多標準，是國際標準的制定者和推動者。公司所生產的工業 PC、現場總線模塊、驅動產品和 TwinCAT 自動化軟件構成了一套完整的、相互兼容的控制系統，可為各個工控領域提供開放式自動化系統和完整的解決方案。經過 40 年的發展和努力，倍福已在世界各地設立 30 多家分支機構，加上全球的合作伙伴，業務遍及 70 多個國家和地區。

　　倍福于 1997 年進入中國市場，中國區總部落戶于上海市北高新產業園區，現有員工 300 人，辦事處遍及國內 30 座大中城市。創新產品和解決方案廣泛應用于風力發電、半導體、光伏太陽能、電子制造、金屬加工、包裝機械、印刷機械、塑料加工、輪胎加工、木材加工、玻璃機械、物流輸送以及樓宇自動化等眾多領域。

　　公司傾力推廣的 EtherCAT 實時工業以太網于 2014 年成為中國國家推薦性標準，并已入編工信部的《國家智能制造標準體系建設指南》。作為一家技術驅動型公司，倍福一直注重在技術上尋求突破創新，在業內享有“創新引擎”的美譽。倍福基于 PC 的控制技術具有良好的開放性，它支持所有主流的工業通信協議，將 IT 技術、互聯網和自動化技術完美融合在一起，為實現工業 4.0 和智能制造奠定了堅實的技術基礎。

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